Excilite μ combina las ventajas de la fototerapia tradicional con lámparas UV (como NB UVB o PUVA) y la fototerapia con láser excimer. Excilite μ protege la piel sana perilesional gracias a sus filtros especiales, minimiza los efectos secundarios como eritemas y quemaduras, no requiere el uso de fármacos, el proceso de repigmentación es más rápido y eficaz en todas las zonas. Excilite-μ tiene una emisión monocromática con la misma longitud de onda de 308 nm y alta intensidad (50 mW/cm²). Sin embargo, en comparación con el láser, Excilite-μ ofrece ventajas significativas: Las zonas tratadas son mayores (30 cm² de superficie), los tratamientos son más rápidos y los costes de mantenimiento se reducen considerablemente.